„Boron11“ trichlorido puslaidininkių dopantinis puslaidininkių sausas ėsdinimas
Produkto pristatymas
Esant normaliai temperatūrai ir slėgiui, boro trichloridas (BCL 3 ) yra bespalvės dūmų dujos, kurios yra degios, aštraus, rūgščio kvapo. Boro trichloridas suskaido į druskos rūgštį ir boro rūgštį ir išleidžia daug šilumos, susiduriančios su vandeniu, dėl hidrolizės jis sukelia dūmus drėgname ore, o BCL 3 skaido į druskos rūgšties ir boro rūgšties esteris alkoholio alkoholiu. Boro trichloridas turi stiprų reakcijos gebėjimą ir gali sudaryti įvairius koordinacijos junginius. Boro trichloridas gali reaguoti su stiklu ir keramikais, kai jis kaitinamas, taip pat reaguoja su daugeliu organinių junginių, kad sudarytų įvairius organovoborono junginius. Didelio grynumo „Boron11“ trichloridas daugiausia naudojamas difuzijai dopuojant (silicio) puslaidininkių prietaisų gamybos procese. Boro priemaišos susidaro suskaidant BCL 3 ir difuziškai link silicio, kad būtų sudarytas P tipo puslaidininkis aukštoje temperatūroje. BCL 3 taip pat gali būti naudojamas sausam al, Mosi 2 , Tasi 2 , TISI 2 , WSI ir kitų medžiagų ėsdinimui.
Kokybės specifikacija
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Paraiška
Boro trichloridas gali būti naudojamas gaminant aukštą gryną borą, organinės sintezės katalizatorių, silikato skilimo srautą, jis taip pat buvo naudojamas kaip deoksidizatoriaus, nitridų ir karbidų priedas lydinio rafinavimo metu. Aukštas grynas „BORN11“ trichloridas daugiausia naudojamas difuzijos dopingo, jonų implantacijos, sauso ėsdinimo ir kitų procesų puslaidininkių prietaisuose ir integruotos grandinės gamyboje.
Pakuotė ir saugojimas
Boron11 trichloridas užpildytas cilindru. Borlorido užpildytas cilindras atitinka atitinkamas GB14193 nuostatas. Į pakuotės specifikacijas sudaro 10L ir 47L. Produktas laikomas šešėliniame, sausame ir vėdinamame sandėlyje, mažesnėje kaip 60 ℃ . Draudžiama atskleisti saulę ir atsiriboti nuo šilumos šaltinių. Pakuotė turi būti uždaryta ir ji turėtų būti atskirai laikoma šarmais ir kitais pavojingais dirbiniais.
Contact Now
