Sieros hexafluoride CAS: 2551-62-4 SF6 99.999% 5N aukšto grynumo elektroninės specialios dujos
Produkto naudojimas
Sieros heksafluoridas yra bespalviai, bekvapiai, netoksiškos, nedegančios inertinės dujos, kurių molekulinė masė yra 146,07, lydymosi taškas -51 ° C ir virimo temperatūra -64 ° C. Sieros heksafluorido molekulinė struktūra yra išdėstyta oktaedrone, rišimo atstumas yra mažas, o jungimosi energija yra didelė, todėl jo stabilumas yra didelis. Elektroninis aukšto grynumo sieros heksafluoridas yra idealus etatas. Sieros heksafluoridas gali būti naudojamas išgraviruoti silicio paviršių ir pašalinti organines arba neorganines membranas ant puslaidininkių medžiagų ir gali būti naudojama gaminant optinius pluoštus.
Kokybės specifikacija
|
Items
|
Units
|
Index
|
|
（SF6）Sulfur
hexafluoride
|
Vol./%
|
≥99.999%
|
|
Oxygen+Argon（O2+Ar）≤
|
Vol.ppm
|
≤2
|
|
Nitrogen（N2）≤
|
Vol.ppm
|
≤2
|
|
Carbon tetrafluoride（CF4）≤
|
Vol.ppm
|
≤1
|
|
Carbon monoxide（CO）≤
|
Vol.ppm
|
≤0.5
|
|
Carbon dioxide（CO2）≤
|
Vol.ppm
|
≤0.5
|
|
Methane（CH4）≤
|
Vol.ppm
|
≤0.5
|
|
Moisture（H2O）≤
|
Vol.ppm
|
≤3
|
|
Acidity（以HF计）≤
|
μg
|
≤0.1
|
|
Hydrolytic fluoride（以HF计）≤
|
μg
|
≤0.8
|
|
Total impurity content≤
|
μg
|
≤10
|
|
Particle
|
μg
|
Supply and demand agreement
|
Paraiška
Elektroninio lygio aukštos grynos sieros heksafluoridas yra idealus elektroninis ėsdinimo agentas, plačiai naudojamas mikroelektronikos technologijos srityje, jis naudojamas kaip plazmos ėsdinimo ir valymo priemonė gaminant dideles integruotas grandines, tokias kaip kompiuterio lustai ir LCD. Sieros heksafluoridas naudojamas kaip fluoro šaltinis, norint gaminti stiklą fluorinu, ruošiant optinį pluoštą. Be to, sieros heksafluoridas taip pat gali būti naudojamas kaip izoliacinės dujos, atsekamųjų medžiagų ir šaltnešio.
Pakuotė 、 Sandėliavimas
Sieros heksafluoridas laikomas standartiniuose besiūliuose cilindruose, paprastai cilindro tūris yra 40L, cilindro tipas yra CGA590 QF-2, o cilindro slėgis-8,0MPA ir 12,5MPA. Konkrečias pakavimo specifikacijas galima pritaikyti pagal vartotojo reikalavimus. Sieros heksafluoridas laikomas šešėliniame ir vėdinamame sandėlyje nuo ugnies ir šilumos šaltinio, sandėliuko temperatūra neviršija 30 ℃. Jis turėtų būti atskirai laikomas uždegančiu (degiu) ir oksiduojančiu agentu. Sandėliavimo zonoje yra skubios pagalbos įranga ekstremaliajai situacijai.
Contact Now
